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एक जलीय डेवलपर नकारात्मक सहज Polyimide

Sep 14, 2016

अभी तक व्यावहारिक polyimide में या सबसे कार्बनिक विलायक अधिक डेवलपर के रूप में, पर्यावरण संरक्षण का विरोध और अधिक ध्यान आज, एक जलीय developable photoresist का उपयोग करने के लिए लोग पसंद करते हैं। नदी विकास पहले Nishizawa और चोई एट अल नकारात्मक polyimide photoresist है बताया गया था। पूर्व विधि सहज सामग्री की photochemical प्रतिक्रिया और सर्जक की उच्च संवेदनशीलता की एक मात्रा में polyamic एसिड समाधान करने के लिए जोड़ा गया है। फिल्म, मास्क एक्सपोजर के बाद और एक जलीय घोल एमिनो इथेनॉल क्या डेवलपर के साथ नाइट्रोजन पर प्रतिस्थापित किया और इमेजिंग विकसित किया। सहज वे पानी में घुलनशील मोनो-methacryloxypropyl ग्लाइकोल diacrylate यूरिया और diethylene का एक मिश्रण का उपयोग करें। ऐसी एक मिश्रण पानी में घुलनशील पॉलियामाइड एसिड फिल्म की भूमिका बढ़ाई।